Rakka, 1517’de Yavuz Sultan Selim’in Mısır seferi sırasında Osmanlı topraklarına katıldı.  Osmanlı topraklarına katıldıktan sonra, XVI. yüzyılın son çeyreğine kadar Diyarbekir Eyaletine bağlı bir sancak olarak kaldı.  1586’da bazı sancaklar Bağdat eyaletinden bazı sancaklar da Diyarbekir eyaletinden ayrılarak müstakil bir eyalet haline getirildi. 1864 yılına kadar eyalet olarak devam etti. Bu dönem zarfında eyalette yüz küsur vali görev yaptı. Bunlar içinde veziriazamlık yapanlar olduğu gibi sadece “paşa” ünvanıyla görev yapan valiler de olmuştur, ama en çok “vezir” unvanını taşıyan valiler görev yaptılar. Başlangıçta valiler Rakka merkezinde otururlarken, daha sonra Urfa “paşa sancağı” olarak belirlendi ve valiler iki merkezde de oturmaya başladılar. Onun için birçok kaynakta “Rakka valisi” yerine “Urfa valisi” olarak geçmektedir.